(原标题:芯碁微装(688630.SH):公司是基于DMD的直写光刻时候开yun体育网,DMD芯片的精度决定了产物精度)
格隆汇12月5日丨芯碁微装(688630.SH)在互动平台暗意,公司是基于DMD(数字微镜器件)的直写光刻时候,DMD芯片的精度决定了产物精度,普及产物精度上首选决议是遴荐精度更高的DMD开yun体育网,现在市集八成量产的DMD最高精度在5.4μm,这种精度的产能已远超传统曝光机。要是要更精雅的线宽,就要遴荐微透镜阵列(MLA)来升级,这种面容关于直写光刻时候升级和改良发展孝敬会很大,量产后产能后果将大幅普及,产业哄骗鸿沟将相当广袤。